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SF6濕度 |
|
測量范圍 |
露點-80℃~+20℃(支持PPMV等) |
露點精度 |
±0.5℃(當露點溫度低于0℃,傳感器輸出為霜點) |
重復性 |
±0.5℃ |
氣體流量 |
SF6調節(jié)在0.5~0.9L/min |
SF6純度 |
|
測量范圍 |
0~100% SF6 |
精度和重復性 |
±0.5%, 與流量無關 |
SF6分解產(chǎn)物 |
|
H2S |
1~200PPm(標配) |
SO2 |
1~100PPm(標配) |
HF |
0~10PPm(可選) |
精度 |
±1PPm |
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